光刻材料中陰離子的測(cè)定
光刻工藝是半導(dǎo)體制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復(fù)制到硅片上,為下一步進(jìn)行刻蝕或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。光刻的成本約為整個(gè)硅片制造工藝的 1/3,耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)硅片工藝的 40~60%。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、檢測(cè)等工序。光刻膠是一種經(jīng)過(guò)嚴(yán)格設(shè)計(jì)的復(fù)雜、精密的配方產(chǎn)品,由樹(shù)脂、光引發(fā)劑、單體、添加劑等不同性質(zhì)的原料,通過(guò)不同的排列組合,經(jīng)過(guò)復(fù)雜、精密的加工工藝而制成。目前集成電路的集成水平已由原來(lái)的微米級(jí)水平進(jìn)入納米級(jí)水平,為了匹配集成電路的發(fā)展水平,制備超凈高純?cè)噭┑募兌纫灿?SEMI G1 逐漸提升到 SEMI G4 級(jí)水平,對(duì)雜質(zhì)的檢驗(yàn)?zāi)芰σ笠蚕鄳?yīng)提高。
(1)陰離子
分析柱:SH-G-1+SH-AC-11
流動(dòng)相:15 mM KOH(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-A-6
進(jìn)樣體積:100 μL
前處理:稱取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中,加入 10 mL 去離子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷卻至室溫,提取液過(guò) 0.22 μm 一次性針頭過(guò)濾器后進(jìn)樣分析。
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PC 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PP 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
ABS 中陰離子譜圖
(2)陽(yáng)離子
分析柱:SH-G-1+SH-CC-3L
流動(dòng)相:6 mM MSA(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-A-6
進(jìn)樣體積:100 μL
前處理:稱取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中,加入 10 mL 去離子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷卻至室溫,提取液過(guò) 0.22 μm 一次性針頭過(guò)濾器后進(jìn)樣分析。
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PC 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PP 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
ABS 中陰離子譜圖
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時(shí)光如梭 轉(zhuǎn)眼間2023已過(guò)半 上半年盛瀚人奮勇拼搏、屢創(chuàng)新高 在蓄力之年夯實(shí)基礎(chǔ)、筑牢根基 結(jié)出累累碩果 2023下半年已到來(lái) 我們將堅(jiān)持以科技創(chuàng)新引領(lǐng)企業(yè)發(fā)展 連接過(guò)去 開(kāi)啟未來(lái)
2017年7月28日,“盛瀚十五周年暨2017離子色譜技術(shù)交流會(huì)(廣東站)”在威尼國(guó)際酒店如期舉辦,此次交流會(huì)旨在為廣東當(dāng)?shù)匦?、老用戶提供盛瀚最新科技成果、?yīng)用解決方案及現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)指導(dǎo)。
在科學(xué)實(shí)驗(yàn)和工業(yè)生產(chǎn)中,離子色譜儀是一種重要的分析儀器,用于檢測(cè)和測(cè)量樣品中的離子成分。過(guò)去,由于技術(shù)水平和生產(chǎn)能力的限制,我國(guó)在色譜儀領(lǐng)域一直處于落后地位,大量依賴進(jìn)口設(shè)備,這在一定程度上制約了我國(guó)相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展。然而,隨著科技的不斷進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化升級(jí),我國(guó)在色譜儀的制造和應(yīng)用方面取得了顯著的進(jìn)步。本文將探討離子色譜儀國(guó)產(chǎn)化的重要性及其帶來(lái)的品質(zhì)與效率的雙重提升。
離子色譜儀主要由流動(dòng)相傳送部分、分離柱、檢測(cè)器和數(shù)據(jù)處理四大部分組成,分離原理也是通過(guò)流動(dòng)相和固定相之間的相互作用,使流動(dòng)相中的不同組份在兩相中重新分配。由于各組份在分離柱中的滯留時(shí)間有所區(qū)別,從而達(dá)到分離的目的。
在化學(xué)分析、藥物研發(fā)以及生命科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域中,高效液相色譜系統(tǒng)(HPLC)如同一把神秘的鑰匙,打開(kāi)了微觀世界的大門(mén),讓我們能夠深入探索物質(zhì)世界的奧秘。